CP晶圆探针测试


CP(Chip Probing)又称 Wafer Probing,是芯片封装前在晶圆阶段执行的第一道电性测试——通过探针卡(Probe Card)上数百至数千根探针,与晶圆上每颗裸片(Die)的焊盘(Pad)直接物理接触,施加电激励并采集响应信号,对每颗 Die 做逐一筛选。

CP 的核心目的不是全面性能验证,而是筛出明显缺陷裸片(开短路、漏电异常、功能失效等),标记并剔除不良品,确保只有 Known Good Die(KGD)进入后续封装——这对封装成本极高的先进封装(SiP、2.5D/3D、FOWLP)至关重要。

简单说:CP 是”封装前的体检”,把有问题的心脏挑出来,不让它进入昂贵的外科手术。

Wafer Probing

CP 测试覆盖的核心项目

CP 测试以直流参数与基础功能为主,目标是在最短时间内筛出异常裸片。 受限于探针接触方式与测试时间,CP 不做完整 AC 时序与全功能验证——那是 FT 的职责。
①开短路测试

验证焊盘与内部互连的连通性,排查断路、相邻焊盘短路-CP的第一步,也是最基础必做项。

②直流参数测试

漏电流(lddq)、工作电流(Idd)、阈值电压(Vth)、导通电阻(Ron)等DC指标,对标规格书上下限判定。

③功能测试

基本逻辑功能扫描(Scan Chain)、存储器BIST、简单工作模式验证,确认核心逻辑通路可用。

④晶圆级可靠性筛选

高压应力筛选(Screen)、Iddq异常检测(Delta lddq)、静态漏电检测,前置发现潜在可靠性风险。

六大核心价值

01

筛除缺陷裸片

在封装前识别并剔除开短路、漏电异常、功能失效等不良Die,不让问题芯片进入下游。
缺陷前置拦截
02

节省封装成本

避免对不良裸片执行高成本封装(尤其是先进封装),降低无效封装支出15-30%。
节省 15-30%
03

提供 KGD 保障

为SiP、2.5D/3D、FOWLP 等先进封装提供 Known Good Die,是高密度集成的前提条件。
KGD 必需环节
04

晶圆良率地图

每颗Die测试结果映射到晶圆坐标,生成Wafer Map,直观呈现缺陷分布与集群效应。
Wafer Map
05

驱动工艺改善

良率地图+缺陷分布分析反馈前道制程,定位工艺问题区域,推动良率持续提升。
缺陷分析闭环
06

缩短产品上市周期

早期发现设计或工艺问题,避免封装后才发现Die级缺陷导致整批返工,加速产品迭代。
加速迭代

适用的封装类型与产品领域

先进封装
先进封装(必做)

SiP/2.5D-3D/FOWLP/InFO,封装成本极高,CP是KGD必需环节。

显示驱动
显示驱动

COG/COF/TAB,晶圆级CP测试+面板点亮验证。

消费电子
消费电子

手机AP/射频前端/PMIC,大批量CP降低整体成本。

汽车电子
汽车电子

MCU/传感器/电源管理,严格Iddq筛选+车规级管控。

通信与网络
通信与网络

基带/射频芯片,DC参数与基本功能筛选。  

传统封装
传统封装(可选)

QFN/SOP/BGA,根据良率与成本模型灵活决策是否做CP。

FT成品测试


FT(Final Test)是芯片封装完成后执行的全面电性与功能终检——通过测试座(Socket)与封装芯片的引脚/BGA 焊球接触,由 ATE 测试机施加完整激励信号并采集响应,对每颗成品芯片做全方位验证。

FT 是芯片出货前的最后一道质量闸门,覆盖范围远超 CP:完整功能验证、AC/DC 参数全量测试、封装质量检测(键合/塑封/引脚缺陷)、可靠性筛选(老化/筛选应力),以及全温区(-55°C ~ 150°C)条件下的性能确认。

简单说:FT 是”成品出厂前的终检”,每一颗芯片必须通过 FT 才能出货——无论封装类型、无论产品等级。

FT成品测试

覆盖的核心项目

FT 测试是对成品芯片的全面终检——覆盖完整功能、AC/DC 全参数、封装质量、可靠性筛选,是芯片出货前的唯一质量闸门。所有封装类型、所有产品等级,FT 都是必做项。
①完整功能测试

全面功能佥证一数字逻辑全扫描、存储器读写、模拟/混合信号通路、接口协议(USB/PCle/SPI/12C),确保芯片在所有工作模式下正确运行。

②AC/DC参数测试

AC时序参数(建立/保持时间、传播延迟、频率特性)+DC参数(漏电、工作电流、阈值电压、导通电阻),全量对标规格书上下限。

③封装质量检测

封装环节引入的缺陷检测-键合开路/短路、塑封空洞/裂纹、引脚共面性、BGA焊球缺失/桥接,这些是CP无法发现的封装级问题。

④可靠性筛选

老化筛选(Burn-in)、高压应力筛选(HTOL/ESD)、静态/动态寿命筛选,前置消除早期失效(Infant Mortality),保证出厂产品的长期可靠性。

六大核心价值

01

出货终检唯一闸门

FT是芯片出货前的最后一道质量把关,每一颗出厂芯片必须通过FT,无论封装类型与产品等级,没有例外。
出货必过
02

发现封装级缺陷

键合开路/短路、塑封空洞/裂纹、引脚共面性、BGA焊球缺陷一这些封装环节引入的问题CP无法发现,只有FT才能检出。
封装缺陷检出
03

全温区性能确认

-55°C~150°C全温区测试,确保芯片在极端温度条件下的功能与参数仍满足规格承诺,消费级、工控级、车规级各有温区要求。
-55℃ ~ 150℃
04

可靠性筛选保障

Burn-in老化+应力筛选前置消除早期失效(Infant Mortality),保证出厂产品的长期可靠性,尤其车规级 AEC-Q必需。
AEC-Q 保障
05

Bin 等级精细分选

按性能等级(速度Bin、功耗Bin)精细分选,高性能产品溢价销售、低性能产品降级出货,实现良率最大化与收益优化。
收益最大化
06

完整数据追溯

每颗芯片测试数据完整记录,支持SPC统计过程控制、CPK分析、出货批次追溯一为品质体系认证(ISO/ATF)提供数据基础。
SPC + CPK

适用的封装类型与产品领域

传统封装(必做)
传统封装(必做)

QFN/SOP/BGA/LQFP/TSOP,FT是出货前唯一终检环节。

先进封装(必做)
先进封装(必做)

SiP /2.5D-3D / FOWLP / COG / COF, CP+FT双闸门配合,FT验证封装质量。

消费电子
消费电子

手机AP/射频/PMIC/SoC,常温+高温FT,大批量高速分选。

汽车电子(车规级)
汽车电子(车规级)

MCU/传感器/电源管理/ADAS,全温区+Burn-in+AEC-Q100严格筛选。

工业控制
工业控制

MCU/FPGA/通信芯片,宽温区测试+可靠性筛选,满足工业级要求。

通信与网络
通信与网络

基带/射频/交换芯片,AC参数与时序验证,高速接口测试。

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